CM300xi-SiPh是一款12英寸半自動(dòng)/全自動(dòng)硅光探針臺(tái),除了具備CM300xi系列的功能外,其在晶圓硅光測(cè)量領(lǐng)域的性能無(wú)與倫比,且是第一個(gè)經(jīng)過(guò)行業(yè)驗(yàn)證過(guò)的光電子集成測(cè)試解決方案??稍诎惭b后立即進(jìn)行生產(chǎn)驗(yàn)證和最優(yōu)的光學(xué)測(cè)量--無(wú)需進(jìn)一步開發(fā)。獨(dú)創(chuàng)的自主硅光SiPh測(cè)量助手提供了一整套完整地創(chuàng)新性校準(zhǔn)和對(duì)準(zhǔn)工具,強(qiáng)大的硅光SiPh工具軟件包,以及所有的工具和夾具,使光子器的測(cè)試驗(yàn)證工作在幾天內(nèi)可以完成,而不是幾個(gè)月或幾年,大大加速了產(chǎn)品的開發(fā)驗(yàn)證周期和上市時(shí)間。
CM300xi-SiPh是一款在行業(yè)內(nèi)已經(jīng)驗(yàn)證過(guò)的集成性能,包括必須的配件、夾具、校準(zhǔn)技術(shù)、算法等,保障安裝完成后可以開啟正確的測(cè)量。超一流的自動(dòng)校準(zhǔn)和對(duì)準(zhǔn)技術(shù),通過(guò)六軸電動(dòng)調(diào)節(jié)馬達(dá),光波導(dǎo)探針根據(jù)耦合算法自動(dòng)找光進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)。CM300xi-SiPh 可配置單根光纖或者光纖陣列Probes,同時(shí)具有專門的Z-Displacement Kit用于調(diào)節(jié)光纖和Wafer的有效距離。豐富地硅光軟件工具包,用于抓取、注冊(cè)和分析收集的數(shù)據(jù)。