Summit 12000是一款8英寸手動(dòng)晶圓測量探針臺,專為半導(dǎo)體器件研發(fā)、器件表征/建模、晶圓可靠性分析、量產(chǎn)測試而設(shè)計(jì),可用于低噪聲直流、射頻、毫米波和THz、失效分析、MEMS等應(yīng)用領(lǐng)域的全溫范圍(-60℃-300℃)內(nèi)測量。Summit12000集成PureLine和AttoGurad專利技術(shù),PureLine技術(shù)實(shí)現(xiàn)了目前市場上最低的噪聲水平,專利MicroChamber和AttoGuard技術(shù)提供電磁屏蔽、光密測試環(huán)境,顯著地降低漏電使其可以滿足fA級漏電測量和fC級低電容測量能力。Summit 11000產(chǎn)品的Summit 11000-AP和Summit 11000-M.滿足超低噪聲直流測量表征,TRIAX卡盤漏電最大分為別1fA和15fA.
FormFactor在射頻/微波測量領(lǐng)域首屈一指,有完整產(chǎn)品系解決方案,包括探針臺、射頻探針、針座、校準(zhǔn)片、校準(zhǔn)軟件以及戰(zhàn)略合作伙伴Keysight、VDI、OML、GORE等全球一流射頻微波測量領(lǐng)域的專家。在射頻微波領(lǐng)域可以完成1.1THz的晶圓、碎片、單粒以及封裝的射頻測量表征,同時(shí)也支持有源射頻功率器件的Load-Pull、Tunner測量以及信號完整性測試。WinCalXE校準(zhǔn)軟件功能十分強(qiáng)大,支持1、2、3和4端口校準(zhǔn)算法以及LRRM、LRM+、SOLT-LRRM,以及混合NIST風(fēng)格的Multi-Line的RL校準(zhǔn),以及用于數(shù)據(jù)比較和增強(qiáng)的錯(cuò)誤集管理能力,并且與Velox、Nucleus和ProberBench探測控制軟件兼容,實(shí)施變溫校準(zhǔn)與測量,極大地保障了測量的一致性與穩(wěn)定性。Summit 11000這一款可以滿足上述射頻性能的探針臺。